重大突破！芯片光刻胶关键技术被攻克：原材料全部国产 配方全自主设计
快科技10月25日消息，重大自主据华中科技大学官微消息，突破近日，芯片该校武汉光电国家研究中心团队，光刻攻克在国内率先攻克合成光刻胶所需的胶关键技原料和配方，助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。术被设计
据介绍，原材其研发的料全T150A光刻胶系列产品，已通过半导体工艺量产验证，部国实现了原材料全部国产，产配配方全自主设计，重大自主有望开创国内半导体光刻制造新局面。突破
公开资料显示，芯片光刻胶是光刻攻克一种感光材料，用于芯片制造的胶关键技光刻环节，工作原理类似于照相机的胶卷曝光。芯片制造时，会在晶圆上涂上光刻胶，在掩膜版上绘制好电路图。
当光线透过掩膜版照射到光刻胶上会发生曝光，经过一系列处理后，晶圆上就会得到所需的电路图。
由于光刻胶是芯片制造的关键材料，国外企业对其原料和配方高度保密，目前我国所使用的光刻胶九成以上依赖进口。
武汉光电国家研究中心团队研发的这款半导体专用光刻胶对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。
相较于国外同系列某产品，T150A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm，且工艺宽容度更大、稳定性更高、留膜率更优，其对刻蚀工艺表现更好，通过验证发现T150A中密集图形经过刻蚀，下层介质的侧壁垂直度表现优异。
团队负责人表示：“以光刻技术的分子基础研究和原材料的开发为起点，最终获得具有自主知识产权的配方技术，这只是个开始。我们团队还会发展一系列应用于不同场景下的KrF与ArF光刻胶，致力于突破国外卡脖子关键技术，为国内相关产业带来更多惊喜。”
(责任编辑：热点)
上市公司海能达董秘辞职 为“追寻心中梦想”
四季沐歌空气能斩获2024HPE中国热泵展“创新产品奖”，“温暖全世界”凸显竞争力
25款福特电马Mustang Mach
女子遭遇话梅刺客一斤3580元 商家：价格正常
建设银行泉州分行举办财智论坛分享会 探讨新常态下的财富传承-
据报道，在近日出席某论坛期间，广药集团董事长李楚源表示，根据国家863计划研究结果，长期饮用王老吉凉茶可延长寿命约10%。王老吉事后称，这一结论是通过对576只大鼠样本为期两年的安全性实验中得出的。不
...[详细]
-
Arm 全面设计助力 Arm 架构生态发展，构建可持续 AI 数据中心
新闻重点：·Arm全面设计(Arm Total Design)生态项目推出一年来，成员规模翻倍，推动了全球芯片创新·Arm、三星晶圆代工厂(Samsung Foundry)、ADTechnology和
...[详细]
-
新酷产品第一时间免费试玩，还有众多优质达人分享独到生活经验，快来新浪众测，体验各领域最前沿、最有趣、最好玩的产品吧~！下载客户端还能获得专享福利哦！近日，东风奕派官方宣布，旗下备受关注的中大型SUV—
...[详细]
-
新浪科技讯 10月22日下午消息，近日，滴滴自动驾驶宣布完成C轮2.98亿美元融资，本轮融资由广汽集团领投，滴滴参与。融资资金将用于加大自动驾驶技术的研发投入，加速推动首款Robotaxi量产车落地。
...[详细]
-
大众网潍坊11月9日讯 9日上午，在潍坊港中港区的18号至21号泊位，新海欣号集装箱货船、潍营号甩挂运输船、宏伟6号散货船顺利抵港靠泊，码头上吊装作业顺利进行，标志着山东高速潍坊港正式开港运营。今天起
...[详细]
-
12 月 16 日-17 日，由极客公园主办、751 联合主办的「极客公园创新大会 2024」GeekPark Innovation Festival，以下简称「IF」），在北京 751 园区·传导空
...[详细]
-
每头野猪悬赏2400 有人一晚捕13头 一年能猎获二三百头野猪
【五金店老板为捕猎野猪投入100万，宁夏有捕猎队曾一晚捕获13头野猪】日前，宁夏固原市西吉县林业和草原局发布公告，向社会公开招募遴选野猪综合防控项目捕猎队伍和无害化处理队伍，计划猎捕西吉县域内40公斤
...[详细]
-
强到逆天！iQOO 13 配色外观曝光：搭载高通骁龙 8 至尊版｜10 月 30 日发布
新酷产品第一时间免费试玩，还有众多优质达人分享独到生活经验，快来新浪众测，体验各领域最前沿、最有趣、最好玩的产品吧~！下载客户端还能获得专享福利哦！机锋资讯： 10 月 22 日消息，iQOO 官方今
...[详细]
-
原标题：9家企业因扬尘治理不达标被停标30天通报具体指出，在丰台区南苑乡分钟寺土地一级开发项目回迁楼、东城区北京站第二落客区改建工程、西城区未来家园地下车库、延庆区康庄镇妫水河隧道工程等8项工程现场，
...[详细]
-
今天3月14日）是新一轮油价调整的第8个工作日调整时间：3月18日24时），目前预计下调油价15元/吨，相比昨日预计跌幅减少10元/吨，尚未超过下调红线，油价呈搁浅状态。今天国际油价就出现上涨，预计跌
...[详细]
